Компактный излучатель для эксилампы с длиной волны 126 нм

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription or Fee Access

Abstract

Разработан компактный излучатель сравнительно простой конструкции с аргоновым наполнением, который может быть использован для создания эксиламп излучения в вакуумной ультрафиолетовой и ультрафиолетовой областях спектра. Исследованы его характеристики. Для увеличения мощности излучения на втором континууме димеров аргона (l ≈ 126 нм) применена прокачка газа через область разряда. При частоте следования импульсов возбуждения 96 кГц за выходным окном из MgF2 получена плотность мощности излучения при длине волны l ≈ 126 нм более 5 мВт/см2. Показано, что прокачка аргона со скоростью 0.5–1 л/с через разрядную область позволяет стабилизировать среднюю мощность вакуумного ультрафиолетового излучения (отклонения не превышали 2%).

Full Text

Restricted Access

About the authors

В. С. Скакун

Институт cильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук

Email: VFT@loi.hcei.tsc.ru
Russian Federation, 634055, Томск, просп. Академический, 2/3

В. Ф. Тарасенко

Институт cильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук

Author for correspondence.
Email: VFT@loi.hcei.tsc.ru
Russian Federation, 634055, Томск, просп. Академический, 2/3

В. А. Панарин

Институт cильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук

Email: VFT@loi.hcei.tsc.ru
Russian Federation, 634055, Томск, просп. Академический, 2/3

Д. А. Сорокин

Институт cильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук

Email: VFT@loi.hcei.tsc.ru
Russian Federation, 634055, Томск, просп. Академический, 2/3

References

  1. Boyd I.W., Zhang J.-Y., Kogelschatz U. // Photo-Excited processes, Diagnostics and Applications. Boston: Springer, 2003. Р. 161. https://doi.org/10.1007/1-4020-2610-2_6
  2. Sosnin E.A., Tarasenko V.F., Lomaev M.I. UV and VUV excilamps. Saarbrucken: LAP LAMBERT Academic Publishing, 2012. ISBN 978-3-695-21756-2
  3. Sobottka A., Drößler L., Lenk M., Prager L., Buchmeiser M. R. // Plasma Processes and Polymers. 2010. V. 7. P. 650. http://doi.org/10.1002/ppap.200900145
  4. Elsner C, Lenk M, Prager L, Mehnert R. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 3616. http://doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.05.071
  5. Ломаев М.И., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Лисенко А.А. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. С. 74.
  6. Будович В.Л., Дубакин А.Д., Крылов Б.Е., Полотнюк Е.Б. // ПТЭ. 2018. №1. С. 123.
  7. Ерофеев М.В., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. // ПТЭ. 2012. №4. С. 70.
  8. Baricholo P., Hlatywayo D.J., Collier M., Von Bergmann H.M., Stehmann T., Rohwer E. // South African J. Science. 2011. V. 107. № 11. P. 1. http://doi.org/10.4102/sajs.v107i11/12.581

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
2. Fig. 1. Design of a compact emitter: 1 — input argon flow directed into the emitter flask, 2 — output argon flow from the flask into the surrounding air, 3 — opening in the left end of the flask, 4 — quartz tube of larger diameter, 5 — part of tube 4 shaped as a cone with a rounded top, 6 — electrodes, 7 — output window made of MgF2, 8 — discharge area, 9 — inner part of the chamber filled with argon, 10 — small diameter tube.

Download (57KB)
3. Fig. 2. Emission spectrum of a compact excilamp emitter on argon dimers at a pumping rate of 1 l/min and a pulse repetition rate of 96 kHz.

Download (67KB)
4. Fig. 3. Dependences of the average radiation power density of argon dimers at a wavelength of about 126 nm on the repetition rate of voltage pulses, the polarity of which alternated. The argon pumping rate was 1 l/min (1) and 0.5 l/min (2), |U| = 6.2 kV.

Download (86KB)

Copyright (c) 2024 Russian Academy of Sciences