Редакционная политика

Тематика журнала

Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится пучковым и плазменным технологиям, в том числе молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые реализации квантовых битов (кубитов). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем.

Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов.

 
 

Периодичность

Периодичность: 6 выпусков в год

 

Приобретение выпуска

Читатели без подписки могут приобрести права доступа к каждому отдельному выпуску. Ниже приведены доступные варианты приобретения прав доступа и способов оплаты.

Приобрести выпуск журнала: 4400,00 (RUB)

Приобретение выпуска журнала позволяет получить доступ ко всем опубликованным в одном выпуске статьям. Доступ к статьям предоставляется на неограниченное время — авторизировавшись на сайте, читатель в любой момент может получить доступ к оплаченному выпуску и его статьям.

Доступ к статьям в рамках данной подписки не позволяет читателям распространять, копировать или воспроизводить материалы статей.

 

Приобретение статьи

Читатели без подписки могут приобрести права доступа к каждой отдельной статье. Ниже приведены доступные варианты приобретения прав доступа и способов оплаты.

Приобрести статью: 770,00 (RUB)

Оплата этой услуги позволит Вам просмотреть, скачать и распечатать данную статью.

Приобретение статьи позволит получить доступ к просмотру полного текста (HTML, PDF) на сайте журнала, его скачиванию и распечатке. Доступ к статье предоставляется на неограниченное время — авторизировавшись на сайте, читатель в любой момент может получить доступ к оплаченной статье.

Доступ к статье не позволяет копировать, воспроизводить и распространять любым способом материалы статьи.

 

Индексация

Индексация:

  • переводная версия в Scopus
  • ВАК
  • РИНЦ